Aşağı Temperaturlu Polisilikon Texnologiyasına dərindən dalış: TFT Ekran Əsası və Sənaye Tətbiqləri

İncə Film Tranzistor Texnologiyasına Baxış

Müasir aktiv matrisli ekran panellərində nazik film tranzistoru (TFT) əsas hərəkətverici komponent kimi xidmət edir. Kanalın aktiv bölgəsi əsasən silikon materialdan hazırlanır. Proses və performans fərqlərinə əsasən, TFT-lər əsasən üç növə təsnif edilir: amorf silikon (a-Si), aşağı temperaturlu polisilikon (LTPS) və yüksək temperaturlu polisilikon (HTPS). 

Bunlar arasında aşağı temperaturlu polisilikon (LTPS) texnologiyası əla elektron hərəkətliliyi, aşağı enerji istehlakı, yüksək ayırdetmə qabiliyyəti və nisbətən sadə istehsal prosesi sayəsində 6-cı nəsil və ondan aşağı istehsal xətləri üçün əsas seçim halına gəldi.

LTPS-TFT Struktur Dizaynının Dərin Təhlili

Şəkil 1-də göstərildiyi kimi, tipik LDD (yüngül qatqılı drenaj) tipli LTPS-TFT strukturu ilk növbədə substratdan və bufer qatından ibarətdir. Substrat adətən qələvisiz displey dərəcəli optik şüşədən hazırlanır, onun üzərində silikon dioksidin (SiO₂) bufer təbəqəsi və ya ikiqat SiO₂/SiNx strukturu yığılır. 

Bu tampon təbəqənin əsas funksiyası şüşədən metal ionlarının polisilikon aktiv bölgəsinə yayılmasının qarşısını almaq və bununla da qüsur əmələ gəlməsini və sızma cərəyanını boğmaqdır.

Tək qatlı SiO₂ ilə müqayisədə SiNx (silisium nitride) daha yüksək dielektrik sabitliyə malikdir (SiO₂ ~4, SiNx 6–8), daha yaxşı qırılma müqaviməti, maneə performansı və oksidləşməni bərpa etmək qabiliyyətini təklif edir. PE-CVD tərəfindən hazırlanan silisium nitridin təxminən 10²² sm⁻³ qədər yüksək oksigen tərkibi ola bilər, bu da cihazın dayanıqlığını təmin edir.

Polikristallaşma prosesi üçün amorf silisium təbəqəsi polisilikon təbəqəsinə çevrilməlidir. Ümumi üsullara bərk fazalı kristallaşma, metalın səbəb olduğu yanal kristallaşma (məsələn, nikelin yaratdığı) və lazer kristallaşması daxildir.

 Bunların arasında lazer kristalizasiyası yüksək effektivlik və vahid taxıl təklif edərək ani yüksək temperaturda ərimə yolu ilə kristallaşmaya nail olur. Bununla belə, qeyd etmək lazımdır ki, ikiqatlı SiO₂/SiNx bufer strukturundan istifadə edilərsə, lazer kristallaşması zamanı hidrogen partlayışı fenomeni baş verə bilər və bu, qüsurlara səbəb ola bilər. 

Həll yollarına lazer kristalizasiyasından əvvəl dehidrogenləşdirmə sobasının yerinə yetirilməsi və ya son dərəcə aşağı hidrogen tərkibli bir qatlı SiO₂ strukturunun istifadəsi daxildir.

LDD texnologiyası yüksək seriya müqavimətinə malik konsentrasiya bufer zonası yaratmaq üçün dopinq konsentrasiyasına dəqiq nəzarət edərək, darvaza daxilində mənbə/dren bölgələrində aşağı dozalı ion implantasiyasını nəzərdə tutur. Bu, yerli elektrik sahəsinin qradiyentini effektiv şəkildə azaldır, sızma cərəyanını yatırır və isti daşıyıcı təsirinin qarşısını alır.

Sənaye Tətbiqləri və Professional Ekran Həlləri

Ekran texnologiyası daha yüksək ayırdetmə, aşağı enerji istehlakı və daha incə forma faktorlarına doğru inkişaf etdikcə, LTPS-TFT orta və yüksək səviyyəli ekran panelləri üçün kritik texnoloji yola çevrildi. Məhsulun praktiki tətbiqində displey modullarının ümumi dizaynı və istehsal qabiliyyəti eyni dərəcədə vacibdir.

Bu sahədə CNK (CNAOKE Electronics-in abbreviaturası) displey cihazlarının və HMI (insan-maşın interfeysi) interaktiv məhsullarının inkişafı, istehsalı və satışı ilə məşğul olan, "İxtisaslaşdırılmış, Təkmilləşdirilmiş, Fərqli və İnnovativ" müəssisə kimi tanınan ixtisaslaşmış texnologiya müəssisəsidir.

Onun əsas məhsullarına monoxrom LCD və monoxrom modullar, 0,96-15,6 düymlük TFT displey modulları, OLED modulları və sənaye nəzarətində, ağıllı evdə, tibbi avadanlıqlarda, avtomobil displeylərində və bir çox başqa sahələrdə geniş istifadə olunan HMI interaktiv modulları daxildir.

İstər LCD ekranlar, istərsə də LCD displey istehsalçıları tərəfindən tələb olunan yüksək performanslı həllərdən istifadə edərək əsas ekran ehtiyacları üçün CNK fərdiləşdirilmiş, sərfəli həllər təqdim edir. Qabaqcıl istehsal xətlərindən və ciddi keyfiyyətə nəzarət sistemindən istifadə edərək, CNK müştərilərinə sabit, əsas ekran komponentləri təqdim etməyə davam edir.

Nəticə

Əsas LTPS TFT texnologiyasından tutmuş tam ekran modullarının inteqrasiyasına və optimallaşdırılmasına qədər, displey sənayesindəki hər bir irəliləyiş materialların, proseslərin və dizayn imkanlarının sinerjisinə əsaslanır. CNK ekran və insan-maşın qarşılıqlı əlaqəsi sahəsində mövcudluğunu dərinləşdirməyə davam edəcək, daha çox son məhsula daha aydın və daha ağıllı ekran təcrübələri əldə etməyə kömək edəcək.

CNK haqqında

2010-cu ildə Şençjendə əsası qoyulan CNK Electronics (qısaca CNK) 2019-cu ildə Fujian ştatının Longyan şəhərindəki dünyanın aparıcı fabrikini genişləndirdi. Bu, ekran məhsullarının dizaynı, inkişafı, istehsalı və satışı üzrə ixtisaslaşan milli ixtisaslaşmış və innovativ "kiçik nəhəng" müəssisədir. CNK müştərilərə dünya miqyasında mükəmməl keyfiyyətə malik, səmərəli kiçik və orta ölçülü ekran modullarının, həllərin və xidmətlərin tam çeşidini təqdim edir. Texnologiyaya və yüksək keyfiyyətə yönəlmiş CNK davamlı inkişafı davam etdirir, müştərilərə daha yaxşı və sabit xidmətlər təklif etmək üçün çalışır.